海目星(688559.SH)：在TGV技术上正在进行研发投入

格隆汇5月17日丨海目星(688559.SH)在互动平台表示，公司在TGV（Through Glass Via，玻璃通孔）技术上正在进行研发投入，激光方面结合现在主流技术正在进行两个工艺路径的开发，包括激光刻蚀技术和激光诱导变性技术。 其中激光刻蚀技术由于不需要掩膜，可以省略部分工艺过程，对制造成本的降低具有重要作用。该方法通过形成一定倾斜角度的深孔，可在深孔内填充金属。但现有难点是对于通孔数量较多的情况具有一定瓶颈，刻蚀效率和产量不高。 激光诱导变性技术是通过皮秒脉冲激光诱导的方式在玻璃上产生连续的变性区。该方式可以让变性区域在蚀刻剂中的刻蚀程度提升、反应速度加快。通过该方式更容易实现高深宽比的深孔，同时通过深度蚀刻的方式，变性区域可加工超微孔，现内部正进行更小微孔加工测试。 公司通过激光与湿法的配合，进行了多项技术研发与储备，现可通过多种方式实现小孔径、高深宽比的通孔加工方式。 目前公司的全资子公司星能懋业主要从事半导体及光伏湿法和电镀工艺的研发及相关设备开发，研发团队及技术主要来自德国，拥有20年以上相关设备开发经验。 接下来，公司将通过材料、激光及湿法的相互配合，降低技术难度，共同推进TGV技术的发展。